専門用語の説明

グラフェンCVD成長機構の解明と制御

ダイヤモンド気相合成機構の解明と制御

光電子制御プラズマ生成機構の解明と制御

MOSFETゲート絶縁膜形成機構の解明と制御

TiO₂膜形成機構の解明と制御

基板表面処理プロセスの開発

リアルタイム表面計測法の開発